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供应日本新宇宙XPS-7半导体材料气体检测仪

  • 发布时间:2015年06月02日
  • 有 效 期:2015年12月02日
详细说明

    一、产品特点:

1、只要更换传感器单元就可以检测各种对象气体。

2、用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正。

3、可以大幅度削减本钱和维护时间。



二、产品参数:

型 号 XPS-7

检测原理 定电位电解式

检测气体对象 半导体材料气体

丈量范围 根据规格

分 解 能 全量程的百分之一表示

指示精度 FS±10%以内

报警模式 2段报警方式

报警方式 蜂叫器(断续音)、报警灯闪烁

应答时间 60秒以内(60%应答)

电 源 5号碱性干电池4节或AC专用变压器

电池使用时间 连续12小时以上(使用碱性干电池无报警、20℃时)

外型尺寸 W62×H150×D128mm(突出部分除外)

检测方式 泵吸引式

使用温度范围 0℃~40℃

重 量 约1.3kg

附 件 肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸2张

选 购 件 AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件

三、检测气体表:



对象气体一览表

型号 气体 F.S 型号 气体 F.S 型号 气体 F.S

XDS-7NH NH3 100ppm XDS-7GH GeH4 1ppm XDS-7HS H2S 50ppm

XDS-7SH SiH4 25ppm XDS-7CL CL2 5ppm XDS-7CO CO 250ppm

XDS-7DC SiH2CL2 25ppm XDS-7CF CLF3 1ppm XDS-7DS Si2H6 25ppm

XDS-7AH AsH3 250ppb XDS-7HC HCL 25ppm XDS-7F2 F2 5ppm

XDS-7PH PH3 1ppm XDS-7HF HF 10ppm XDS-7OZ O3 1ppm

XDS-7BH B2H6 500ppb XDS-7HB HBr 10ppm

XDS-7SE H2Se 250ppb XDS-7NO NO 100ppm

 
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